CM300xi是一款12英寸半自動(dòng)晶圓測(cè)量探針臺(tái),可以應(yīng)用于低噪聲IV/CV、射頻微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR測(cè)量領(lǐng)域。CM300xi集成了諸多專(zhuān)利技術(shù),全球獨(dú)一無(wú)二的Contact Intelligence技術(shù)滿(mǎn)足極端復(fù)雜的環(huán)境測(cè)量挑戰(zhàn),如無(wú)人值守測(cè)量小尺寸Pad以及多個(gè)溫度下的測(cè)量。提供電磁屏蔽、光密和防凝露的測(cè)試環(huán)境,在所有的測(cè)量應(yīng)用領(lǐng)域均表現(xiàn)出無(wú)論倫比的杰出測(cè)量性能。
FormFactor在射頻/微波測(cè)量領(lǐng)域首屈一指,有完整產(chǎn)品系解決方案,包括探針臺(tái)、射頻探針、針座、校準(zhǔn)片、校準(zhǔn)軟件以及戰(zhàn)略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測(cè)量領(lǐng)域的專(zhuān)家。在射頻微波領(lǐng)域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測(cè)量表征,同時(shí)也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測(cè)量以及信號(hào)完整性測(cè)試。WinCalXE校準(zhǔn)軟件功能十分強(qiáng)大,支持1、2、3和4端口校準(zhǔn)算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風(fēng)格的Multi-Line的RL校準(zhǔn),以及用于數(shù)據(jù)比較和增強(qiáng)的錯(cuò)誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測(cè)控制軟件兼容,實(shí)施變溫校準(zhǔn)與測(cè)量,極大地保障了測(cè)量的一致性與穩(wěn)定性。CM300xi這一款可以滿(mǎn)足上述射頻性能的探針臺(tái)。