Summit 12000是一款8英寸手動晶圓測量探針臺,專為半導體器件研發(fā)、器件表征/建模、晶圓可靠性分析、量產測試而設計,可用于低噪聲直流、射頻、毫米波和THz、失效分析、MEMS等應用領域的全溫范圍(-60℃-300℃)內測量。Summit12000集成PureLine和AttoGurad專利技術,PureLine技術實現(xiàn)了目前市場上最低的噪聲水平,專利MicroChamber和AttoGuard技術提供電磁屏蔽、光密測試環(huán)境,顯著地降低漏電使其可以滿足fA級漏電測量和fC級低電容測量能力。Summit 11000產品的Summit 11000-AP和Summit 11000-M.滿足超低噪聲直流測量表征,TRIAX卡盤漏電最大分為別1fA和15fA.
FormFactor在射頻/微波測量領域首屈一指,有完整產品系解決方案,包括探針臺、射頻探針、針座、校準片、校準軟件以及戰(zhàn)略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射頻微波測量領域的專家。在射頻微波領域可以完成1.1THz的晶圓、碎片、單粒以及封裝的射頻測量表征,同時也支持有源射頻功率器件的Load-Pull、Tunner測量以及信號完整性測試。WinCalXE校準軟件功能十分強大,支持1、2、3和4端口校準算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST風格的Multi-Line的RL校準,以及用于數據比較和增強的錯誤集管理能力,并且與Velox、Nucleus和ProberBench探測控制軟件兼容,實施變溫校準與測量,極大地保障了測量的一致性與穩(wěn)定性。Summit 11000這一款可以滿足上述射頻性能的探針臺。